Το υψηλής ποιότητας λογισμικό συστήματος παρακολούθησης FMS Cleanroom της Zetron αποτελείται κυρίως από πέντε κύρια μέρη: αισθητήρας μέτρησης, σύστημα ελέγχου αντλίας κενού, ντουλάπι δικτύου, σύστημα συναγερμού και λογισμικό παρακολούθησης ανώτερου υπολογιστή, το οποίο μπορεί να πραγματοποιήσει παρακολούθηση σε πραγματικό χρόνο καθαριότητας, θερμοκρασίας και υγρασίας, διαφορικής πίεσης. ταχύτητα ανέμου και άλλες παραμέτρους στο καθαρό δωμάτιο και πλήρεις λειτουργίες αποθήκευσης και διαχείρισης δεδομένων.
Κατά τη διαδικασία παραγωγής, οι συνθήκες του περιβάλλοντος συνήθως αλλάζουν συνεχώς και η χειροκίνητη παρακολούθηση δεν μπορεί να παρέχει δεδομένα συνεχούς παρακολούθησης, επομένως είναι αδύνατο να εκτιμηθεί πότε το σύστημα αποκλίνει από τις καθορισμένες συνθήκες εργασίας, πολύ περισσότερο την ποιότητα του προϊόντος. Το λογισμικό China Zetron Cleanroom Monitoring System αποφεύγει αυτό το μειονέκτημα της χειροκίνητης παρακολούθησης εγκαθιστώντας πολλαπλούς απομακρυσμένους αισθητήρες σωματιδίων σε διάφορα σημεία, όπου οι αισθητήρες μετρούν σε πραγματικό χρόνο και μεταδίδουν τα αποτελέσματα της μέτρησης σε έναν υπολογιστή. Η θερμοκρασία, η υγρασία και η διαφορική πίεση, η ταχύτητα του ανέμου, ο αριθμός αιωρούμενων βακτηρίων κ.λπ. μετρώνται από τους σχετικούς ανιχνευτές.